一、紫外線
紫外線光是一種波長范圍為1360×10-10m~3900×10-10m的不可見光線。
按波長范圍可分為A、B、C三波段和真空紫外線：
①A波段320nm~400nm；
②B波段275~320nm；
③C波段200nm~275nm；
④V波段---真空紫外線100~200nm。
各種波長范圍的紫外線光的作用是不同的，有些是用來殺菌的、有些是用來清洗的、有些是用來光刻的、有些是用來固化的。紫外線燈按照啟動與工作方式可以分為瞬間啟動型、冷陰極型、熱陰極型，而對于同樣耗電的情況，瞬間啟動型的照射功率強。另外，燈的照射功率還隨周圍及管壁的溫度而變化，因此必須控制好紫外線燈周圍及管壁的溫度，以使紫外燈發揮佳的效果。
二、LCD制造過程中UV紫外線的作用
在整個液晶顯示器LCD的制造過程中，可以說離不開紫外線光，沒有紫外線光的使用，液晶顯示器就無法進行生產。下面將對其在LCD生產過程中所起的作用進行詳述。 1、在光刻方面：
（1）、圖形制作：利用365~405nm波長（A波段）的紫外線光對涂有光刻膠的ITO玻璃進行一定時間的照射后，由于光刻膠吸收了一定的光能量，發生了光化學反應，使光刻膠的性能發生改變，受光部分經過顯影液能溶解掉，露出ITO膜，然后用蝕刻液將露出的ITO膜蝕刻掉，從而得到與掩模版完全一致的ITO圖形。
（2）、取向膜涂覆版的制作： 取向膜涂覆版通常稱為APR膠版，下面是一層橡膠基板，基板上有一層一定厚度的感光材料，上、下貼附一層塑料保護膜。 制版前先將APR版的上、下保護膜撕掉，將菲林版貼在APR膠版的感光材料面上，并使用真空吸附的方法將菲林與APR膠版緊緊貼合在一起，然后利用365nm波長的紫外光進行一定時間的照射。由于紫外光的作用，受紫外光照射的感光材料層發生變化，當用特定的沖洗液進行沖洗后，沒受感光部分的感光材料就被洗出，從而制作出APR膠版。
2、光固化方面:
（1）、UV固化膠的固化 光固化目前主要是在液晶顯示器的后制程中得到廣泛應用，用于液晶盒的封口和固定PIN管腳。這主要是利用紫外線光照射紫外固化膠，使膠發生化學交聯和聚合作用，達到固化，從而形成牢固的封口及將PIN管腳牢固地固定。目前使用的紫外光波長主要是365nm。由于UV固化膠具有固化時間快、接著力強、耐熱、耐濕等優點，目前已經推廣應用到前制程的封邊框上。
（2）、TOP的UV固化 在STN-ITO玻璃上涂覆絕緣膜SiTi并進行預固化后，TOP層的物質形態為以離子形式存在的層狀疏松結構，硬度很低。采用UV固化裝置對ITO玻璃上的絕緣膜TOP層進行良好的紫外光照射，使絕緣膜上含有的聚合體、單體、光聚合劑等感光性材料吸收了高能量的紫外光后，發生"光集合交聯反應"，使離子之間發生交聯，TOP層的物質形態變成網狀緊密結構，再經過后固化后，其硬度就大大增加，達到降低后固化的溫度和提高表面硬度的目的。
3、光清洗與光改質 （1）UV光清洗 在液晶顯示器的制造過程中，對ITO玻璃上的潔凈度要求是非常之高的，要生產線間距和線寬為10μm的產品，并且保證成品率，對曝光前的涂膜要求是相當之高。要提高涂膜的效果，首先要保證玻璃是潔凈的。在以往的清洗技術（化學清洗和物理清洗）中，經常很難達到這種潔凈度要求。
如何提高玻璃表面的潔凈度，提高敷膜的效果呢？目前國外得到廣泛使用的是UV紫外光清洗，它一方面能避免由于使用有機溶劑造成的污染，同時能夠將清洗過程縮短。其工作原理是利用紫外光子對有機物質所起的光敏氧化作用以達到清洗粘附在物體表面上的有機化合物（碳氫化合物）的目的。
在實際應用中，通常是利用一種能產生兩種波長的紫外燈，這種UV燈能夠產生波長為254nm、185nm的紫外光（通常185nm波長的僅為254nm波長光的20%）。其工作過程是：大多數有機化合物對其中254nm波長的紫外光有較強的吸收能力，它們在吸收了紫外光之后，分解為離子、游離態原子、受激分子和中性分子，這即光敏作用。而大氣中的氧氣在吸收了波長為185nm的紫外光子后產生臭氧O3和原子氧O，產生的O3對254nm波長的紫外光又具有強烈的吸收作用，在光子的作用下，臭氧又會分解為氧氣和原子氧O，由于原子氧活潑，物體表面上的碳和氫化合物的光敏分解物在它的氧化作用下化合成可揮發性氣體：二氧化碳、氮氣和水蒸氣等逸出物體表面，從而達到清除粘附在物體表面上的頑固有機物質的目的。
在這里，配套使用了反射板，其作用是將UV燈發出的UV光反射到玻璃基板上，從而加強玻璃基板受光照的強度。而在設備實現上，有三項很重要的因素必須注意與控制，這就是：一、要保持玻璃基板到UV燈在一個較小的距離，通常這一間隙須小于10mm，其意義在于能夠提供足夠的光照強度，并且可以避免出現光照盲區。二、要保持清洗機內腔體適當的O3濃度，過多過少均不利于達到清洗的終效果，通常O3濃度是控制在100-130ppm范圍內。三、爐腔的溫度不能太高，因此必須注意冷卻，控制好爐腔的工作溫度，以防止紫外光燈因過熱而變形或紫外線照射功率的減損。
有關的實驗證明，經過化學和物理清洗后，玻璃表面的接觸角（衡量物體表面潔凈度的主要參數，是用定量的純水滴到物體表面，水滴形成的角度）只能在50度左右，這對于STN產品來說是遠遠不夠的，而再經過紫外光清洗后，接觸角可下降到20度以下，能夠滿足STN產品的工藝要求。
（2）、紫外光改質 UV改質（紫外光表面質變）是在紫外光清洗的基礎上演變過來的，基本原理相同，但又有差別。其工作原理是利用紫外光照射有機表面，在將有機物分解的同時，254nm波長的紫外光被物體表面吸收后，將表層的化學結構切斷，而大氣中的氧氣在吸收了波長為185nm的紫外光子后產生臭氧O3和原子氧O，產生的O3對254nm波長的紫外光又具有強烈的吸收作用，在光子的作用下，臭氧又會分解為氧氣和原子氧O，由于原子氧活潑，這些原子氧會與被切斷的表層分子結合，并將之變換成具有高度親水性的官能基（如-OH，-CHO，-COOH），從而提高表面的可濕性。由于物體表面上具有這些親水性的官能基作為中間層，光刻膠、取向膜等材料通過這些官能基與物體表面接觸，發生化學的結合反應，提高了光刻膠、取向膜等材料與物體表面的結合力。
UV改質工藝實現過程與UV紫外光清洗基本一樣。目前在液晶顯示器STN的生產過程中，主要是用在膜處理技術上，對于改善膜與膜之間的密接是非常有效的，如ITO膜與感光膠膜層，TOP涂層與PI涂層等等。
三、總結
從上面可以看到，液晶顯示器的制造過程，與其他行業如半導體、光盤的制造過程相比較，是一個需要利用紫外線光的產業，并且目前正在進一步研究，使得它得到更廣泛的應用，同時也推動LCD制造業的發展。可以說，目前日本的一些紫外燈生產廠家在這方面已經做出了許多貢獻，并且正在積極地研究利用紫外光解決液晶顯示器制造過程中存在的一些問題。下面是液晶顯示器制造過程中正在使用紫外光和將可能使用的作業點。
紫外線光是一種波長范圍為1360×10-10m~3900×10-10m的不可見光線。
按波長范圍可分為A、B、C三波段和真空紫外線：
①A波段320nm~400nm；
②B波段275~320nm；
③C波段200nm~275nm；
④V波段---真空紫外線100~200nm。
各種波長范圍的紫外線光的作用是不同的，有些是用來殺菌的、有些是用來清洗的、有些是用來光刻的、有些是用來固化的。紫外線燈按照啟動與工作方式可以分為瞬間啟動型、冷陰極型、熱陰極型，而對于同樣耗電的情況，瞬間啟動型的照射功率強。另外，燈的照射功率還隨周圍及管壁的溫度而變化，因此必須控制好紫外線燈周圍及管壁的溫度，以使紫外燈發揮佳的效果。
二、LCD制造過程中UV紫外線的作用
在整個液晶顯示器LCD的制造過程中，可以說離不開紫外線光，沒有紫外線光的使用，液晶顯示器就無法進行生產。下面將對其在LCD生產過程中所起的作用進行詳述。 1、在光刻方面：
（1）、圖形制作：利用365~405nm波長（A波段）的紫外線光對涂有光刻膠的ITO玻璃進行一定時間的照射后，由于光刻膠吸收了一定的光能量，發生了光化學反應，使光刻膠的性能發生改變，受光部分經過顯影液能溶解掉，露出ITO膜，然后用蝕刻液將露出的ITO膜蝕刻掉，從而得到與掩模版完全一致的ITO圖形。
（2）、取向膜涂覆版的制作： 取向膜涂覆版通常稱為APR膠版，下面是一層橡膠基板，基板上有一層一定厚度的感光材料，上、下貼附一層塑料保護膜。 制版前先將APR版的上、下保護膜撕掉，將菲林版貼在APR膠版的感光材料面上，并使用真空吸附的方法將菲林與APR膠版緊緊貼合在一起，然后利用365nm波長的紫外光進行一定時間的照射。由于紫外光的作用，受紫外光照射的感光材料層發生變化，當用特定的沖洗液進行沖洗后，沒受感光部分的感光材料就被洗出，從而制作出APR膠版。
2、光固化方面:
（1）、UV固化膠的固化 光固化目前主要是在液晶顯示器的后制程中得到廣泛應用，用于液晶盒的封口和固定PIN管腳。這主要是利用紫外線光照射紫外固化膠，使膠發生化學交聯和聚合作用，達到固化，從而形成牢固的封口及將PIN管腳牢固地固定。目前使用的紫外光波長主要是365nm。由于UV固化膠具有固化時間快、接著力強、耐熱、耐濕等優點，目前已經推廣應用到前制程的封邊框上。
（2）、TOP的UV固化 在STN-ITO玻璃上涂覆絕緣膜SiTi并進行預固化后，TOP層的物質形態為以離子形式存在的層狀疏松結構，硬度很低。采用UV固化裝置對ITO玻璃上的絕緣膜TOP層進行良好的紫外光照射，使絕緣膜上含有的聚合體、單體、光聚合劑等感光性材料吸收了高能量的紫外光后，發生"光集合交聯反應"，使離子之間發生交聯，TOP層的物質形態變成網狀緊密結構，再經過后固化后，其硬度就大大增加，達到降低后固化的溫度和提高表面硬度的目的。
3、光清洗與光改質 （1）UV光清洗 在液晶顯示器的制造過程中，對ITO玻璃上的潔凈度要求是非常之高的，要生產線間距和線寬為10μm的產品，并且保證成品率，對曝光前的涂膜要求是相當之高。要提高涂膜的效果，首先要保證玻璃是潔凈的。在以往的清洗技術（化學清洗和物理清洗）中，經常很難達到這種潔凈度要求。
如何提高玻璃表面的潔凈度，提高敷膜的效果呢？目前國外得到廣泛使用的是UV紫外光清洗，它一方面能避免由于使用有機溶劑造成的污染，同時能夠將清洗過程縮短。其工作原理是利用紫外光子對有機物質所起的光敏氧化作用以達到清洗粘附在物體表面上的有機化合物（碳氫化合物）的目的。
在實際應用中，通常是利用一種能產生兩種波長的紫外燈，這種UV燈能夠產生波長為254nm、185nm的紫外光（通常185nm波長的僅為254nm波長光的20%）。其工作過程是：大多數有機化合物對其中254nm波長的紫外光有較強的吸收能力，它們在吸收了紫外光之后，分解為離子、游離態原子、受激分子和中性分子，這即光敏作用。而大氣中的氧氣在吸收了波長為185nm的紫外光子后產生臭氧O3和原子氧O，產生的O3對254nm波長的紫外光又具有強烈的吸收作用，在光子的作用下，臭氧又會分解為氧氣和原子氧O，由于原子氧活潑，物體表面上的碳和氫化合物的光敏分解物在它的氧化作用下化合成可揮發性氣體：二氧化碳、氮氣和水蒸氣等逸出物體表面，從而達到清除粘附在物體表面上的頑固有機物質的目的。
在這里，配套使用了反射板，其作用是將UV燈發出的UV光反射到玻璃基板上，從而加強玻璃基板受光照的強度。而在設備實現上，有三項很重要的因素必須注意與控制，這就是：一、要保持玻璃基板到UV燈在一個較小的距離，通常這一間隙須小于10mm，其意義在于能夠提供足夠的光照強度，并且可以避免出現光照盲區。二、要保持清洗機內腔體適當的O3濃度，過多過少均不利于達到清洗的終效果，通常O3濃度是控制在100-130ppm范圍內。三、爐腔的溫度不能太高，因此必須注意冷卻，控制好爐腔的工作溫度，以防止紫外光燈因過熱而變形或紫外線照射功率的減損。
有關的實驗證明，經過化學和物理清洗后，玻璃表面的接觸角（衡量物體表面潔凈度的主要參數，是用定量的純水滴到物體表面，水滴形成的角度）只能在50度左右，這對于STN產品來說是遠遠不夠的，而再經過紫外光清洗后，接觸角可下降到20度以下，能夠滿足STN產品的工藝要求。
（2）、紫外光改質 UV改質（紫外光表面質變）是在紫外光清洗的基礎上演變過來的，基本原理相同，但又有差別。其工作原理是利用紫外光照射有機表面，在將有機物分解的同時，254nm波長的紫外光被物體表面吸收后，將表層的化學結構切斷，而大氣中的氧氣在吸收了波長為185nm的紫外光子后產生臭氧O3和原子氧O，產生的O3對254nm波長的紫外光又具有強烈的吸收作用，在光子的作用下，臭氧又會分解為氧氣和原子氧O，由于原子氧活潑，這些原子氧會與被切斷的表層分子結合，并將之變換成具有高度親水性的官能基（如-OH，-CHO，-COOH），從而提高表面的可濕性。由于物體表面上具有這些親水性的官能基作為中間層，光刻膠、取向膜等材料通過這些官能基與物體表面接觸，發生化學的結合反應，提高了光刻膠、取向膜等材料與物體表面的結合力。
UV改質工藝實現過程與UV紫外光清洗基本一樣。目前在液晶顯示器STN的生產過程中，主要是用在膜處理技術上，對于改善膜與膜之間的密接是非常有效的，如ITO膜與感光膠膜層，TOP涂層與PI涂層等等。
三、總結
從上面可以看到，液晶顯示器的制造過程，與其他行業如半導體、光盤的制造過程相比較，是一個需要利用紫外線光的產業，并且目前正在進一步研究，使得它得到更廣泛的應用，同時也推動LCD制造業的發展。可以說，目前日本的一些紫外燈生產廠家在這方面已經做出了許多貢獻，并且正在積極地研究利用紫外光解決液晶顯示器制造過程中存在的一些問題。下面是液晶顯示器制造過程中正在使用紫外光和將可能使用的作業點。
